主要應用在半導體制造生產過程。氣體監控系統和化學品監控系統在制造過程中及時發現泄漏，及時報警聯動，自動切斷泄漏源，提醒現場工作人員及時處理的極重要的角色；也是廠務生產管理重要工具，實時監控現場設備運行狀態，報警提醒，歷史記錄查詢，報表統計等功能的優勢。同時還肩負機臺要液信號和化學輸送柜起停聯動控制。