特氣系統是指特種氣體的儲存、輸送與分配過程的設備、管道和部件的全稱；化學品系統是指電子工廠中酸堿化學品、溶劑化學品、研磨液化學品系統的全稱。

主要運用于實現特氣系統安全使用及化學品系統安全使用的工程。

主要包含了特氣主系統和氣體管理系統和化學品供應系統和化學品監控系統。