• 特氣分流閥箱

  適用于一路或多路氣源供應多路用氣設備

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• 尾氣處理設備

  采用進口吸附劑原料配比 吸附效率高 , 延長周期 設備使用壽命長等特點

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• 液體前驅體輸送系統

  液體前驅體輸送系統作為完全國產化的設備，具有完全自主的知識產權

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• 特氣供應柜

  氣瓶柜標準配置減壓裝置，自動切換

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• 研磨液供應柜

  系統設備配套不銹鋼及高分子塑性材料管道系統

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• 化學品集中供液設備

  可燃性等危險液態化學品的放置與管理設備

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• 濕法剝離設備

  有化學回收及強化電力節省，提高生產效率的優勢

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• 涂膠顯影設備

  具有傳送速度更快、人機界面更優

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• 立式爐管設備

  有數字式表頭易于查看，人機操作界面友好

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• 槽式制絨清洗設備

  具有工藝模塊可定制、設備與工藝穩定等優勢

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