上海至純系統集成有限公司(以下稱至純集成)成立于2010年9月7日,注冊資本為2.08億元,是上海至純潔凈系統科技股份有限公司全資子公司,目前公司坐落干閔行區紫竹高新區的高新技術企業。
至純集成致力于為泛半導體產業提供超高純度的工藝介質系統,至今已經出貨各類高純特氣設備和高純化學品設備超過16000臺,為各個FAB廠提供干法和濕法工藝機臺支持系統,至純集成建設的首個用于12英寸先進制程晶圓廠的大宗氣體站將于2021年10月開始供氣。通過不斷地產品創新、研發設計提升產品的用戶體驗,為客戶和用戶持續創造價值。公司自成立以來,始終致力于高純工藝系統從設計制造到安裝調試的交付,目前高純工藝系統業務線趨勢呈持續增長,其中涉及的氣體及化學品支持設備業務國產替代進展順利,已經成為主流集成電路制造用戶的認定品牌且出貨量陡增。

把人才放在第一位,至純集成始終把人才作為企業發展的動力源泉,非常重視人才的選、育、用、留。目前公司擁有眾多行業專家人才,技術人員大多擁有相關領域全球領先企業的從業經歷,技術實力強、管理水平高。公司通過打造明確的上升通道和施展能力的平臺空間,并提供了全面的保障措施,充分保障每個成員迅速成長,并為公司積累大量人才。
經過12年的發展,憑借優秀的產品質量和對社會責任的擔當,公司通過不斷提高產品質量和服務水平,在行業內取得了良好的口碑和信譽,積累了一大批高端客戶和合作伙伴,服務對象基本為各自行業的領軍企業或主要企業。